亚洲Av中文无码乱人伦在线观看-国产一级做a爰片久久毛片-欧美日韩精品另类视频-Aⅴ精品无码无卡在线观看-久久99国产乱子伦精品免费

測量范圍	133	測量精度	1
外形尺寸	23mm	用途	低壓,真空
重量	30kg

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統用油泵簡介

HMDS烘箱真空泵，HMDS系統用油泵廣泛應用于制冷、電子、化工、醫藥、食品及科研所實驗室的設備和自動生產線上。先進的設計理念加工更加合理的加工工藝，使各項性能指標都達到了JB/T53017-92一等品標準，其性價比在同行業中。

技術參數

型號		DM2	DM4	DM8	DM15
抽氣速率（L/S）		2	4	8	15
極限分壓強（Pa）	氣鎮關	≤4×10^－2	≤4×10^－2	≤4×10^－2	≤4×10^－2
極限分壓強（Pa）	氣鎮開	≤8×10^－2	≤8×10^－2	≤8×10^－2	≤8×10^－2
極限總壓強（Pa）	氣鎮關	≤5×10^－1	≤5×10^－1	≤5×10^－1	≤5×10^－1
極限總壓強（Pa）	氣鎮開	≤1	≤1	≤1	≤1
噪聲LP/LW		52/63	54/65	58/71	59/72
水蒸氣抽除率（L/h）		360	520	600	1200
進氣口直徑		DN25ISOKF	DN25ISOKF	DN40ISOKF	DN40ISOKF
排氣口直徑		DN25ISOKF	DN25ISOKF	DN40ISOKF	DN40ISOKF
zui高油面工作溫度		80	85	125	130
用油量（L）		1.1	1.5	3.4	4.5
轉速r/min		1400	1430	1400	1420
電動機功率（kw）		0.37	0.55	1.1	1.5
重量（kg）		27	36	60	70
外形尺寸（mm）		510×174×274	550×174×274	635×236×383	695×236×383

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統的重要性：
光刻涂膠工藝中絕大多數光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成漂條、浮膠等，導致光刻圖形轉移的失敗，同時濕法腐蝕容易發生側向腐蝕。在半導體生產工藝中，光刻是集成電路圖形轉移重要的一個工藝環節，涂膠質量直接影響到光刻的質量，涂膠工藝也顯得尤為重要。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后，經烘箱加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統主要技術性能：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2500W

控溫范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動度：±0.5℃

達到真空度：133Pa（1torr）

工作室尺寸（mm）：450*450*450、350*350*350（可自定義）

智能型HMDS烘箱，全自動HMDS預處理系統的*性：

預處理性能更好，更加均勻；效率高,一次可以處理多達4盒的晶片；更加節省藥液；低液報警、防藥液泄漏等具有很強的安全保護功能；，有可自動吸取添加HMDS功能，智能型的程式設定，一鍵完成作業