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半導體烤箱,wafer烤箱用途:
半導體烤箱,wafer烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料預處理烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
特點:
1.烤箱具有升溫快,溫度過沖小,節能等優點;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采用環抱式熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好;
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到精密溫度控制精度。
產品技術參數:
溫度范圍:RT+10~250℃;
溫度均勻度:±2℃;
溫度波動度:±0.5℃
溫控精度:±0.1℃;
工作室尺寸:W600×D550×H600(mm)
電源:220v , 50Hz,3.0KW
網板:2塊(高度可調節)
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