1、設備名稱

 高溫無塵無氧烤箱

2、設備型號

 JS-MOA130-2F

3、設備主要技術參數                                                          

3.1 工作室尺寸

 450×450×650mm（W×D×H）雙層腔體（可自定義）

3.2  材質

 外箱采用優質冷軋板噴塑，內箱采用SUS/304不銹鋼

3.3 溫度范圍

 RT+10-450℃，使用溫度≤380℃

3.4 溫度分辨率

 0.1℃

3.5 溫度波動度

 ＜±1℃

3.6 溫度均勻度

 ≤±2%

3.7 潔凈度

 class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境

3.8電源及總功率

 AC 380V±10% / 50HZ       總功率約20.0KW    

3.9 升溫時間

 每分鐘5度，全程平均（空箱測試）

3.10降溫時間

 降溫方式：水冷+風冷，300℃-90℃降溫時間約為1小時（空箱測試）

3.11氧含量

(配氧含量分析儀）

 高溫狀態氧含量：≤ 20ppm +氣源氧含量
 低溫狀態氧含量：≤ 50ppm +氣源氧含量

3.12 數據輸出

溫度和氧含量有紙記錄儀

4、系統結構