光刻膠在曝光完成后，光刻膠需要經(jīng)過再一次烘烤，因為這次烘烤在曝光后，所以稱為“曝光后烘烤”，簡稱后烘或堅膜，英文為Post Exposure Bake(PEB)。
曝光后烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤的目的--通過加熱的方式，使得光化學(xué)反應(yīng)能夠充分完成。
對于酚醛樹脂體系的光刻膠，PEB可以擴(kuò)散感光劑以消除駐波效應(yīng)。并且，PEB溫度不同時，感光劑的擴(kuò)散距離不同，消除駐波的效果也不一樣。PEB在110度時，消除駐波效應(yīng)明顯。
對于化學(xué)放大型光刻膠，在后烘過程中，光酸起到催化光刻膠樹脂的去保護(hù)反應(yīng)(Deprotection Reaction)，又稱為脫保護(hù)反應(yīng)。
大量實驗表明，烤膠臺烘烤溫度的起伏是影響線寬均勻性的主要因素之一。在設(shè)置后烘工藝時， 對熱盤溫度均勻性的要求一般比軟烘的要求更高。
烤膠臺/潔凈烘箱PEB烘烤性能
智能型烤膠機(jī)
加熱尺寸：220*220mm(可定制),適用于Ø200毫米(8英寸)圓片或200x 200毫米方片以下尺寸產(chǎn)品；
溫度范圍：RT～300°C
溫度精度：0.1°C；
溫度均勻性：≤±0.5℃；
電動頂針調(diào)節(jié)高度: 0～30mm；
加熱臺表面：耐腐蝕硬質(zhì)陽極氧化鋁制成；
控制器單元：7寸全彩觸摸屏，高級PLC控制，實現(xiàn)在特定時間內(nèi)自動升降，可以定時取片；
潔凈烘箱
無塵等級：Class100;
溫度范圍：RT～300/450℃；
溫度均勻度：200℃±3℃;
溫度波動度：±0.5℃(空載)
工作尺寸(mm)：
450×450×450
500×500×500
600×700×800(可定制)
可擴(kuò)展功能：
氧濃度檢測，無塵無氧烘箱
智能聯(lián)網(wǎng)功能，MES等工業(yè)自動化軟件
掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取
自動門控，上位機(jī)程控，機(jī)械手搬運產(chǎn)品
