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選擇HMDS烘箱的容積
內腔尺寸:450*450*450mm,1-8寸片均適用,4寸晶圓可處理200P/次;
HMDS烘箱真空泵的選擇
根據腔體容積,選配合適型號的真空泵。常用渦旋式真空泵又分為油泵和干泵。
◆ 低噪聲,低振動
3.HMDS烘箱輔助功能選擇:
◆HMDS藥液泄漏報警提示功能
◆HMDS低液位報警提示功能
◆工藝數據記錄功能
◆藥液管道預熱功能
◆程序鎖定保護等功能
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