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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司


等離子清洗機刻蝕

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更新時間:2024-04-29 09:10:05瀏覽次數(shù):222次

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產(chǎn)品簡介

等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX,采用高純石英腔體,150W,13.56MHz,觸摸屏控制。桌面式儀器,操作簡單

詳細介紹

等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX應用領(lǐng)域:光學器件、電子元件、半導體元件、激光器件、鍍膜基片、終端安裝等的超清洗。清洗光學鏡片、電子顯微鏡片等多種鏡片和載片。移除光學元件、半導體元件等表面的光阻物質(zhì),去除金屬材料表面的氧化物。清洗半導體元件、印刷線路板、ATR元件、人工晶體、天然晶體和寶石。清洗生物芯片、微流控芯片、沉積凝膠的基片。高分子材料表面的修飾。封裝領(lǐng)域中的清洗和改性,增強其粘附性,適用于直接封裝及粘和。改善粘接光學元件、光纖、生物醫(yī)學材料、宇航材料等所用膠水的粘和力。

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等離子清洗機刻蝕KT-S2DQX

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤100Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

2L(內(nèi)徑110MMX深度220MM)

觀察窗內(nèi)徑

Φ65

氣體流量

10—100ml/min(其他量程可選)

過程控制

過程手動控制

清洗時間

手動開關(guān)

開蓋方式

鉸鏈側(cè)開式法蘭

外形尺寸

400x380x360mm

重量

23Kg

真空室溫度

小于65°C

冷卻方式

強制風冷

標配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個,不銹鋼網(wǎng)匣1個,電源線一根,說明書一本。




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