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深圳市東信高科自動化設備有限公司
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產品介紹型號TS-SY05外形尺寸600(W)×420(D)×320(H)mm腔體尺寸直徑160*240mm腔體材質石英玻璃射頻電源13
| 型號 | TS-SY05 |
| 外形尺寸 | 600(W)×420(D)×320(H)mm |
| 腔體尺寸 | 直徑160*240mm |
| 腔體材質 | 石英玻璃 |
| 射頻電源 | 13.56MHz |
| 控制方式 | 人機界面 |
| 電源 | 220V/50Hz |
| 真空泵 | 油泵/干泵（選配） |
| 氣體通道 | 2路工作氣體 |
| 氣體流量 | 100-1000ml/s |
| 冷卻方式 | 風冷 |
1、溫度低，確保對樣品表面沒有造成熱影響；
2、高密度等離子體，確保處理效果均勻；
3、自主研發軟件系統，操作簡單易維護；
4、清洗各種復雜形狀的產品；
材料科學、高分子科學、生物醫藥材料學、微流體研究、微電子機械系統研究、光學、顯微術、牙科醫療等領域中的污染物清除、表面活化、粘合前處理、表面化學改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。
該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、殺菌、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。
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