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北京鴻瑞正達科技有限公司
產品簡介:GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀,可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜,樣品直徑可達50mm,鍍膜厚度可達300,特別適用于SEM樣品表面的鍍膜
產品簡介: GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀, 可進行金、鉑、銦、銀 等多種金屬的濺射鍍膜, 樣品直徑可達 50mm ,鍍膜厚度可達 300?, 特別適用于 SEM 樣品表面的鍍膜。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀配置有樣品濺射室真空表和濺射電流表,用以指示、監控儀器狀態; 特殊設計的鐘罩邊緣橡膠密封圈, 可保證長期使用不會出現影響樣品濺射室真空度的玻璃鐘罩“崩邊"現 象; 陶瓷密封高壓頭比通常采用橡膠密封的更經久耐用。 GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀體積小, 操作簡單,適合用于實驗室中對小樣品的鍍膜使用。
產品名稱 | GSL-1100X-SPC-16 單靶等離子濺射儀 |
產品型號 | GSL-1100X-SPC-16 |
安裝條件 | 本設備要求在海拔 1000m 以下, 溫度 25℃±15℃ ,濕度 55%Rh±10%Rh 下使用。 1、水:不需要 2、電: AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度 99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥) 4、工作臺: 尺寸 600mm×600mm×700mm ,,承重 50kg 以上 5、通風裝置:不需要 |
主要特點 | 1、設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。 2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電 離氣體,以獲得的鍍膜效果。 |
3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。 4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。 5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻 |
純凈。 6 、已通過 CE 認證。 | |||
技術參數 | 1、電源: 220V 2、總功率: <2000W (包括真空泵) 3、真空室: ?160mm×120mm 4 、樣品臺: ?50mm,且高度可調, 可同時進行 8 個 SEM 樣品的鍍膜 5 、max 均勻鍍膜: ?45mm | ||
產品規格 | 尺寸: 400mm×300mm×400mm;重量: 30kg | ||
標準配件 | 1 | 金靶材 | 1 個 |
2 | 進氣針閥 | 1 個 | |
3 | 保險絲 | 2 個 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |
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