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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

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產品簡介

VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

詳細介紹

產品簡介：VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片極限尺寸為2″，放置樣品的直徑為?50mm，加熱溫度達500℃。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀可濺射金、銀、銅三種靶材，不可以濺射輕金屬和碳。本機采用旋轉式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜，適用于實驗室制備復膜的樣品。VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀采用PLC控制面板對設備進行控制，操作方便直觀。該機設備小巧，占用實驗室空間少，操作簡單，應用廣泛。因此被廣泛應用于各大高校及科研院所的實驗室中。

關鍵詞：離子濺射儀