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上海德竹芯源科技有限公司
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SM-150 是手動或半自動薄膜涂覆的優選，適用于表面沒有或有非常低形貌的基板涂膠作業。大多光刻膠與涂層材料都可被均勻涂覆到尺寸為150 mm (6")的晶圓或尺寸為127 × 127 mm (5" × 5")的基板上。工藝腔設計可滿足直徑為176 mm。
● SM 系列的優點在于，具有高度涂膜均勻性和工藝重復性，且操作簡單、使用舒適。為了減少花費在工藝腔清潔上的精力，SAWATEC 公司開發了一種實用且經濟的工藝腔保護碗。工藝結束后，可簡單地移除和清理這種保護碗。經由如此的高品質設計，也能將維護成本降低。因此，SAWATEC 勻膠機可被優先應用于實驗室、研發、試產項目及研究所。
● 該勻膠機可提供便攜桌上式和內嵌式兩種方式。
產品功能
● 可編程，最多 50 個程序，適用于重復工藝的快速啟動功能
● 觸摸屏面板控制，方便用戶程序配置
● 工藝參數：轉速、加速度、工藝時間
● 旋轉方向可選（順時針、逆時針）
● 手動裝卸基板
● 通過具有安全保護的真空系統進行基板固定
● 手動蓋子帶有空氣入口和閉合安全保護
性能參數
● 轉速范圍：0 到 10,000rpm +/-1rpm
● 工藝時間最長為 2376 s
● 每個程序段的給膠時間為 99 s
附加功能（可選項）
● 半自動的管式給膠系統
● 工藝腔的手動氮氣凈化裝置
● 用于簡化操作的“啟動/停止"腳踏開關
● 經陽極電鍍處理的鋁制工藝腔
● 鋁制或 PE（聚乙烯）材料制成的工藝腔保護碗
● 用于 SM-150 勻膠機的真空泵
● 晶圓定位器 2" – 6" (圓形)
旋轉卡盤分類
● 為了達成良好的涂覆效果，SAWATEC 提供了不同尺寸、材料和設計的旋轉卡盤。根據用途的不同，可使用單塊結構或具有光學輔助置中功能的兩部分構成的旋轉卡盤。為避免基板背面被弄臟，有時不僅要選擇好的旋轉卡盤尺寸，還要采用專門的卡盤設計。旋轉卡盤的更換過程非常簡單，不需要使用工具。
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