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深圳市邦企創源科技有限公司
勻膠機手套箱專用高性能BQ-200勻膠機手套箱專用Spin Coater 旋涂儀 旋轉涂層機,旋轉涂膠烤膠一體機 旋涂儀 旋轉涂層機。產品型號:BQ-200盤加熱恒溫勻膠機Spin Coater 旋轉涂膠烤膠一體機 旋涂儀 旋涂機主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片
產品介紹
勻膠機手套箱專用高性能BQ-200勻膠機手套箱專用Spin Coater 旋涂儀 旋轉涂層機,旋轉涂膠烤膠一體機 旋涂儀 旋轉涂層機。產品型號:BQ-200盤加熱恒溫勻膠機Spin Coater 旋轉涂膠烤膠一體機 旋涂儀 旋涂機主要用于液體,膠體在材料表面薄膜的形成,適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工藝??稍诳蒲校逃?,生產中應用。
1 旋轉吸盤恒溫加熱,室溫-200℃。精度控制 0.1℃。
2 可以完成有機物的勻膠。(攝氏溫度200度以下)。
3 完成勻膠時,還可以完成烤膠?! ? 可設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程。每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;
5 可以控制加速度
6 端跳 1mm 的 ±2.5%
7.結構緊湊,適合直接放于手套箱內操作;
8. 7寸全彩觸摸屏,高級PLC控制,設置一鍵啟動按鈕, 操作方便;
9 .可單步和多步勻膠操作;
10. 工業級馬達,旋轉平穩,運行穩定;
11. 溶劑PC透明蓋;
12. 真空泵與勻膠機同步工作,勻膠機旋轉,真空泵就啟動,勻膠機停止,真空泵就停止;
13. 設置有開機密碼功能,提高設備操作安全性;
14. 左上面配有載物槽,(φ28深16)放藥水瓶方便。中心定位針筒滴膠架,輕松對心。
高性能勻膠機旋涂儀 可選購:直徑10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盤。
自主設計制造高性能勻膠機旋涂儀,"spin coater " 行業稱:勻膠機 勻膠臺 甩膠機、旋涂儀 旋轉涂膜機 旋涂機,主要用于液體,膠體在材料表面形成薄膜。適用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷,不銹鋼,金屬等制版表面涂覆工藝。可在科研,教育,生產中應用。
勻膠機工作腔內徑D220mm 適合直徑D10mm-200mm園片及 200mmX200mm方形片。
62mm 吸盤
1.BQ-200高性能勻膠機旋涂儀 高精度26程序控制器:
2.設定存儲26個不同樣片的旋轉涂敷工藝過程;
3.每個涂敷工藝過程可以設置51步不同的速度狀態;
4.加速度(及負加速度),可設置。
5.中英文兩套操作系統供選擇。
6.操作系統內駐留涂敷工藝過程模板程序,方便快速調試并存儲程序。
高性能勻膠機旋涂儀 碎片 微 小片 卡盤
7.設置程序:國際標準通用符號,6鍵操作,人機交互式對話,提示操作。
8.無需培訓,上手就會操作。
9.可連接滴膠機,自動控制在必要的瞬間滴膠,自動控制重復定量滴膠。
10.精準的重復的自動控制操作,是人工不可能及的。
11.工作腔可氮氣保護。
高性能勻膠機旋涂儀 各種卡盤接受訂貨。因客戶要求差異太大,無法備貨。
我們設備通過有效的惰性氣體保護機構設計,對所有的環境變量(溫度,濕度,潔凈度)有效控制,
這一點針對科研實驗的苛刻要求而開發。
12.真空吸片,爪卡機構。2種工作狀態隨意選擇。 爪卡機構工作狀態無需真空泵。方便有空隙的材料及厚重材料涂膠。
13.中心結構定位:
圓形基片使用工具完成中心定位。方便快捷,定位精度高。
主機標準配備一片真空吸盤即可滿足(TA-280適用3英寸-11英寸基片);(TA-360適用3英寸-14英寸基片)。
小于3英寸可使用定制真空吸盤。
中心定位原理
中心定位
利用中心定位板,將基片在機器轉軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。
14.卡盤,吸盤品種豐富,適應各種需要。
吸盤卡盤滴膠機等全體附件
15.真空吸片系統更安全:
安裝有真空度傳感器,涂敷工作過程電腦實時檢測系統真空度,必須在安全的真空度下,
電機啟動,運行。保障可靠吸片,不飛片。運行中失去真空,系統保護性停機。
16.伺服電機,轉速精度更高:300 - 10000 轉/分,轉速穩定性:+ - 0.1 % 轉速10000轉/分
設備所用的天然聚丙烯(NPP)材質,食品級衛生材料,易清潔,材質性能穩定,綠色環保型實驗室的。
勻膠機技術參數:
單相交流電源:220V.50Hz
電機功率:200W
轉數:300 - 10000 轉/分。
可設定時間:1---9999秒。
標準包裝:尺寸: 490mm寬 x 380mm深 x 310 mm高 ,
中心定位利用中心定位板,將基片在機器轉軸中心定位。
中心定位板的孔位可以完成4,6,8,10英寸基片定位。完成勻膠。
勻膠旋涂或者烤膠干燥過程中有一個問題值得大家關注,膠液在凝固干燥定型過程中具有一定的揮發性,會散發出有刺鼻氣味的腐蝕氣體。一定程度的影響實驗操作員的身體健康,尤其是在烤膠和旋涂過程中尤甚(如光刻膠等)。
在生產銷售、客戶反映、實驗過程中我們發現放入手套箱中可以有效的解決這個問題,故此我們推出來一款能放進手套箱的勻膠機-BQ-200靈巧型勻膠機。BQ-200勻膠機是一款小巧輕便的臺式勻膠旋涂設備,結構設計新穎緊湊,采用聚乙烯 .PC等抗腐蝕材料。
能放進手套箱的勻膠機-BQ-200靈巧型勻膠機具有的操作系統:4.3寸全彩觸摸屏(配備觸摸筆),簡單易用、程控操作、自動點膠優異性價比及其適合放進手套向內使用。同時有效的避免了在勻膠旋涂過程中揮發性氣體的擴散,有效的減小揮發性氣體對實驗操作人員的健康影響。
能放進手套箱的勻膠機-BQ-200靈巧型勻膠機手套箱安裝圖示:
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