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武漢月憶神湖科技有限公司


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SPIN150i德國(guó)SPS POLOS勻膠機(jī)

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:賽先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-09-16 11:28:50瀏覽次數(shù):128次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:13條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:賽先生

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

德國(guó)SPS POLOS勻膠機(jī)SPIN150i采用無刷式馬達(dá),具有轉(zhuǎn)速穩(wěn)定,啟動(dòng)快速,涂膠一致性和均勻性好等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于鈣鈦礦太陽能電池、半導(dǎo)體芯片制造、MEMS等領(lǐng)域。

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌適用基片尺寸160毫米直徑圓片,4英寸方片;
旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速范圍1~12000RPM**旋轉(zhuǎn)加速度30000RPM/S
轉(zhuǎn)速精度±0.1rpm

一、德國(guó)SPS POLOS勻膠機(jī)SPIN150i產(chǎn)品特點(diǎn)和技術(shù)參數(shù):

1、結(jié)構(gòu):

(1)旋涂腔體直徑為202毫米,適用于小尺寸碎片至160 mm 直徑圓片或 4" x 4" 方片;

(2)NPP-H(具有α晶的天然聚丙烯)的耐腐蝕結(jié)構(gòu)為整個(gè)系統(tǒng)提供更好的剛性和韌性;

(3)旋涂腔室材質(zhì)為NPP(天然聚丙烯),特殊應(yīng)用可選用高耐化學(xué)性的PTFE(TFM™);

(4)高品質(zhì)無縫制造表面,全工程塑料;

(5)機(jī)身尺寸為:274 (w) x 250 (h) x 451 (d) mm,適用于通風(fēng)廚和手套箱使用;

2、數(shù)字電機(jī)控制:

(1)具有數(shù)字增量速度信號(hào)的數(shù)字實(shí)時(shí)閉環(huán)控制伺服電機(jī)反饋;

(2)允許具有廣泛旋轉(zhuǎn)速度參數(shù)的用戶以更安靜的方式進(jìn)行工作/實(shí)驗(yàn),系統(tǒng)高速運(yùn)行時(shí)更穩(wěn)定,振動(dòng)更少;

(3)提供高性能無刷電機(jī),有著高精度的轉(zhuǎn)速(±0.1 rpm)和寬范圍的轉(zhuǎn)速(1至12,000 rpm),這是傳統(tǒng)PID電機(jī)控制器無法實(shí)現(xiàn)的;

3、程序配方數(shù)目存儲(chǔ)不設(shè)限,可用于多個(gè)步驟的配方,每個(gè)配方均適用于:

(1)旋涂時(shí)間:0.1至99999秒/步

(2)旋涂轉(zhuǎn)速:0至12,000 rpm

(3)旋轉(zhuǎn)方向:順時(shí)針,逆時(shí)針,順、逆時(shí)針交換攪動(dòng);

(4)旋涂加速度:1至30,000 rpm / sec(每步可選);

(5)真空:開/關(guān);

(6)3個(gè)可編程的干觸點(diǎn):例如用于分配單元,氮?dú)鈹U(kuò)散器等的自動(dòng)控制;

4、設(shè)備控制器:

(1)可拆卸的全尺寸觸摸屏,手套防護(hù),IP 52,耐化學(xué)腐蝕;

(2)彩色觸摸屏顯示,可輕松編程速度,加速度和時(shí)間;

5、安全聯(lián)鎖:

(1)Process Chambe Lid始終為所有用戶安全鎖定,并且僅在單擊蓋子打開顯示圖標(biāo)時(shí)才能打開;

(2)電磁蓋聯(lián)鎖在打開時(shí)停止旋轉(zhuǎn),而真空聯(lián)鎖(可編程)在沒有足夠真空或沒有真空的情況下停止旋轉(zhuǎn),防止傷害使用者并避免基材破裂;

(3)具有國(guó)際CE標(biāo)志和過載保護(hù)的電氣安全;

6、透明蓋:

(1)透明蓋清晰可見內(nèi)部,帶有注射器支架和N2擴(kuò)散器,可手動(dòng)分配注膠以及在處理過程中進(jìn)行N2吹掃;

(2)注射器支架可幫助用戶始終在期望的相同位置和位置分配抗蝕劑/化學(xué)物質(zhì);

(3)控制室環(huán)境對(duì)于恒定的過程結(jié)果至關(guān)重要;

(4)堅(jiān)固的自彈式蓋鉸鏈,可自動(dòng)將蓋保持在狀態(tài),以便輕松搬運(yùn)和卸下基板,同時(shí)確保蓋子上的殘留化學(xué)物質(zhì)都流入系統(tǒng)排水口;

7、連接:

(1)三個(gè)可編程繼電器輸出,可用于操作自動(dòng)分配系統(tǒng),外部閥或其他附件。

(2)多種chuck可供選擇,適用用于不同尺寸的基板。

8、USB端口:可輕松上傳和下載配方以及更新軟件版本;

9、存儲(chǔ):結(jié)構(gòu)化和受密碼保護(hù)的方案存儲(chǔ),可輕松安全地進(jìn)行管理;

10、配套真空泵系統(tǒng):無 油 型 220~240伏交流,50/60赫茲;


SPIN150i勻膠機(jī)的安裝和使用

二、德國(guó)SPS POLOS勻膠機(jī)SPIN150i應(yīng)用領(lǐng)域:

1、適應(yīng)于鈣鈦礦太陽能電池薄膜制備;

2、半導(dǎo)體芯片制造;

3、MEMS制版的表面涂覆;


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