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北京和同創業科技有限責任公司
離子濺射儀是依據二極(DC)直流濺射原理設計而成的,適用于電鏡實驗室的掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極制作。
1.靶(上部電極):材料:金,直徑:50mm,厚度:0.1mm 純度:99.999% 2、真空室:直徑:160mm,高:110mm 3.樣品臺(下部電極):濺射面積:直徑:50mm 4.工作真空: 2×10-1—8×10-2 mbar 5.離子電流表:電流:50mA 6.計時器:根據濺射習慣設定單次濺射時間 7.電壓:-1600DVC 8.機械泵:2升/每秒 9.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣 10.真空氣閥: 配有氬氣專用進氣口和微量充氣調節 ,可連接φ4×2.5mm軟管
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