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深圳市科晶智達科技有限公司
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GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達50mm，鍍膜厚度可達300?，特別適用于SEM樣品的鍍膜
| 功能特點 |
|---|
| 技術參數 | |||
|---|---|---|---|
| 安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | ||
| 水 | 不需要 | ||
| 電 | AC220V 50Hz，必須有良好接地 | ||
| 氣 | 設備腔室內需充注氬氣（純度99.99%以上），需自備氬氣氣瓶（帶減壓閥） | ||
| 工作臺 | 尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上 | ||
| 通風裝置 | 不需要 | ||
| 電源 | 220V | ||
| 總功率 | <2000W（包括真空泵） | ||
| 真空室 | ?160mm×120mm | ||
| 樣品臺 | ?50mm，且高度可調，可同時進行8個SEM樣品的鍍膜 | ||
| 均勻鍍膜 | ?45mm | ||
| 尺寸 | 400mm×300mm×400mm | ||
| 重量 | 30kg | ||
| 可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 | ||
| 標準配件 | 1 | 金靶材 | 1個 |
| 2 | 進氣針閥 | 1個 | |
| 3 | 保險絲 | 2個 | |
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