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鄭州科探儀器設備有限公司
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KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。
KT-Z1650CVD是一款小型臺式蒸發功率可控蒸發鍍膜儀離子濺射儀，儀器雖小功能齊全，配備有電壓 電流反饋,樣品臺旋轉，樣品高度調節，及電動擋板功能。通過定時調節預熱功率及蒸發功率，可對大部分金屬進行均勻蒸發沉積，真空腔室為透明石英玻璃減少樣品污染，樣品臺可旋轉以獲得更均勻的薄膜，可制備各種金屬薄膜和有機物薄膜。離子濺射儀
參數
設備名稱 | 小型濺射儀 | 小型蒸鍍儀 |
控制方式 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 | 7寸人機界面 手動 自動模式切換控制 |
工作電源 | 直流濺射電源 | 直流熱蒸發電源 |
鍍膜功能 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 | 0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序 |
功率 | ≤1000W | ≤1500W |
輸出電壓電流 | 電壓≤1000V 電流≤1A | 電壓≤12V 電流≤100A |
真空 | 機械泵 ≤5Pa（5分鐘） 分子泵≤5*10^-3Pa | |
腔體真空 | ≤30Pa | |
擋板類型 | 電控 | |
真空腔室 | 石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm | 石英腔體φ160mm x 160mm |
樣品臺 | 可旋轉φ62 （可安裝φ50基底） | |
樣品臺轉速 | 8轉/分鐘 | |
樣品濺射源調節距離 | 40-105mm | 70-140mm |
蒸發坩堝容積 | 3ML | |
蒸發溫度調節 | ≤1600℃ | |
真空測量 | 皮拉尼真空計（已安裝 測量范圍10E5Pa 1E-1Pa） | |
預留真空接口 | KF25抽氣口 KF16放氣口 6mm卡套進氣口 | |
可選配擴展 | 1 膜厚在線測試 2 分子泵 | |
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