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北京歐唐科技發展有限公司
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簡介PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉儀的另一個型號，有助于提高大口徑光學元件面形測量的分辨率，適合數字加工以及高分辨系統的裝調
簡介
PhaseCam6110是PhaseCam6000系列干涉儀的另一個型號，有助于提高大口徑光學元件面形測量的分辨率，適合數字加工以及高分辨系統的裝調。
PhaseCam6110 ，采用光源與干涉儀分離的設計，主機尺寸較小，同樣配有專用調整架，易于安裝定位，便于五維調整，是凹面望遠鏡、透鏡、離軸三反系統、卡式望遠鏡系統、長焦距平行光管、低溫光學真空實驗等測量的理想儀器。
基于PhaseCam6110，衍生出了多種波長的干涉儀，目前可提供的波長為但不限于1053nm, 1064nm, 1300nm, 1550nm.
PhaseCam6110的尺寸比PhaseCam6010稍大，具有更好的維護性。
常規屬性
系統描述：對振動不敏感的泰曼格林型動態相移干涉儀
采集模式：采用相位相關探測器的瞬時相移式
核心技術：相移干涉技術（PSI）
光源：穩頻HeNe@；可選波長 532nm
相干長度 gt;100m
光束直徑：7mm
偏振態：圓偏光
相機像素：2000×2000pixels， 12bit
外形尺寸：測量頭：
激光器： x x cm
重量： 測量頭：
激光器：
系統性能
采集速率 gt;10幀/秒 （實時顯示）
>15幀/秒 (后處理）
最小曝光時間：35微秒
樣品反射率：1-99% （無需衰減）
RMS重復性：
RMS精度：
*采用10個數據RMS值的1σ方差作為結果；每個數據是16次測試的平均
采用10個數據，每個數據是16次測試的平均；以這10個數據的平均值作為參考值；以每一個數據與參考值的差來計算RMS平均作為結果
配置選項
擴束器：Φ50mm, Φ100mm，Φ300mm
球面擴束鏡頭：F/1 to F/32；可定制 F/35, F/40, F/50
反射參考鏡： ， ， ，
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