4D TECHNOLOGY動態激光干涉儀PhaseCam NIR
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天津瑞利光電科技有限公司
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產品介紹高精度的差分長度和角度測量傳感器頭由不銹鋼制成長期穩定性高差分測量使環境影響更小化SIOS的超穩定差動激光干涉儀SP5000DI具有的熱穩定性,可用于研究和開發中的長期測量,例如材料測試
高精度的差分長度和角度測量
傳感器頭由不銹鋼制成
長期穩定性高
差分測量使環境影響更小化
SIOS的超穩定差動激光干涉儀SP 5000 DI具有的熱穩定性,可用于研究和開發中的長期測量,例如材料測試。得益于其設計,借助外部參考光束,可以將測量系統放置在距測量位置更長的距離處,而不會明顯影響測量的分辨率或穩定性。干涉儀的長度分辨率為5 pm,這歸功于測量系統的微分原理,即使在正常實驗室條件下也可以實現。
如果使用傾斜不變反射器進行長度測量,則測量范圍為幾米。該系統采用模塊化設計,因此可以適應特定的測量任務。可以簡單且長期穩定地進行調整。在SP 5000 DI干涉儀的基礎上構建多軸系統還可以進行多坐標測量。
位移測量范圍:5 m
位移分辨率:5 pm
角度測量范圍
帶反射器:±12.5°
帶平面鏡(建議距離≤2m):±1.5弧分
光束距離(標準):21 mm
波長:632.8 nm
HeNe激光器的頻率穩定性(預熱時間之后):2·10-8
HeNe激光器的預熱時間:10 ... 20 min
工作溫度范圍:15 ... 30°C
測量反射鏡的位移速度:max.3 m /s
傳感器頭和電子單元之間的電纜長度:3 m,max.10 m
電源:100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz
尺寸(長x寬x高)
傳感器頭(帶基板):150 x 140 x 43 mm
電子供應和評估單元(標準):450 x 400 x 150 mm
電子供應和評估單元(緊湊):250 x 400 x 150 mm
重量
感測頭:2.0 kg
底盤:1.5 kg
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