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深圳市科時達電子科技有限公司
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德國MBE分子束外延系統OCTOPLUS500OCTOPLUS500MBE系統的主要特點是的可靠性和普適性
德國MBE 分子束外延系統OCTOPLUS 500
OCTOPLUS 500 MBE系統的主要特點是的可靠性和普適性。標準的Octoplus 500有11個呈放射狀分布的源孔，可以根據需要增選3個源孔。快速抽真空進樣室配有水平磁力桿傳輸系統，可以在不破壞MBE腔室真空的前提下，簡便地進行樣品傳輸。
OCTOPLUS 500 MBE系統的的主要參數規格
● ID 550 mm
● 應用于III/V族， II/VI族或其他異質結構材料
● 6英寸晶片，或7x2英寸晶片
● 進樣室和緩沖腔室
● 線性樣品傳輸系統
● 標準法蘭孔數目(標準11個，可按要求增加3個)
● 束流源，氣體源，樣品臺
● 抽真空系統(離子吸附泵，分子泵，低溫泵等)
● 原位表征能力
● 軟件/硬件控制系統
● 額外要求可定制
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