產(chǎn)品簡介:
EVG GEMINI FB是一款全自動具備高精度對準(zhǔn)和熔融鍵合的工藝平臺,實現(xiàn)了高程度的集成度和自動化,主要應(yīng)用于存儲器堆疊、BSI圖像傳感器、SoC等領(lǐng)域的大型量產(chǎn)。
主要特點及參數(shù):
·支持12英寸(300mm)晶圓
·最多配置6個預(yù)處理模塊,例如清洗模塊、低溫等離子處理模塊、對準(zhǔn)驗證模塊、解鍵合模塊等。
·采用SmartView NT3對準(zhǔn)技術(shù),對準(zhǔn)精度<50nm