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白光干涉儀ZeGage 3D 光學輪廓儀

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更新時間：2022-11-27 16:52:50瀏覽次數：535次

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上海洛豐精密檢測儀器有限公司

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產品簡介

ZeGage系列的3D光學表面輪廓儀可以提供強大的多功能的非接觸式光學表面形貌測量分析。所有的測量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強大的分析軟件可以精準的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、關鍵尺寸和其它形貌特征。

詳細介紹

系統參數：

◆原理非接觸、三維白光掃描干涉儀

◆掃描裝置: 長范圍 Z 軸調節

◆物鏡: 無限共軛干涉物鏡：標準工作距離2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x；長工作距離：1x, 2x, 5x, 10x,詳見物鏡參數表

◆視場: 跟所選物鏡有關

◆光源: 長壽命白光 LED，計算機控制光強

◆物鏡座: 螺紋物鏡座（標準）；

◆選件: 可快速裝卸單物鏡夾具（可選）；電控或手動 4 位物鏡塔臺（可選）。

◆輔助聚焦: 軟件控制輔助聚焦

◆測量陣列: 1024×1024

◆樣件觀察: 軟件集成交互式實時觀察

◆Z 軸: 100mm 行程，主機頭具有兩種可選安裝高度，以優化工作距離

◆樣品臺控制: USB 控制器，人體工程學設計的拇指控制按鈕，可控制速度和聚焦模式切換

◆安全性: 系統集成緊急制動功能

◆樣品臺: 手動,俯仰傾斜±4°; 手動XY平移50x100mm; 集成T型槽板利于固定附件

◆計算機: 高性能DELL計算機, 寬屏1080P LCD，64位，Windows 7系統

◆軟件: ZeMapsTM

◆尺寸（HWD）: 系統：156×127×76cm; 工作桌：74x127x76cm; ZeGage 主機：82x53x53cm

◆重量: ZeGage 主機：54Kg; 工作臺：37Kg

性能：

◆縱向掃描范圍：≤ 20 mm，(受限于物鏡工作距離)

◆表面形貌重復性：＜3nm（根據 ISO/DIS 25178 604 部，附件 D）

◆光學分辨率（橫向）：0.52um ～9.50um，與所選物鏡有關

◆掃描速度： ≤ 23 um/秒

◆數據點： 1,048,576

◆臺階測量：準確度 ≤ 1%；重復性≤ 0.1% @ 1σ

被測樣品特性：

◆材料：各種材料的表面：透明，不透明，鍍膜，非鍍膜，反射，弱反射

◆反射率：1-99%

環境要求：

◆溫度： 15-30℃

◆溫度變化率：＜1.0°C/15分鐘

◆濕度：相對濕度 5%-95%，無凝結

◆隔振：不需要

◆振動準則： VC-C 或有更好的推薦

關鍵詞：工作臺

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