HFC-303是一種質量流量控制器，通過結合電磁式先導閥和為大流量控制開發的氣動流量控制閥，可實現大流量的高精度氣體控制，這在過去很難實現。
作為HFC-203系列的后續產品，HFC-203系列已廣泛應用于工業領域，是一種新型號，可實現更高的精度和高速響應。
- 采用兩級控制閥，支持高達1000 SLM的高流量
- 即使流量大，也能實現±1.0％的高精度
- 確保傳統型號的高速響應性能
- 如果流量超過1000 SLM，請與我們聯系
標準規格
| 流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM） | 100?300 SLM（可選） | 301?1000 SLM（可選 | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關閉） | ||
| 控制范圍 | 2~100％（F.S.） | 5~100％（F.S.） | |
| 準確性 | ±1％F.S.（25°C） | ||
| 溫度系數 | 0.1％F.S./°C（15~35°C） | 0.2％F.S./°C（15~35°C） | |
| 再現性 | ±0.25%F.S. | ||
| 壓差 | 個人反應 | ||
| 耐壓 | 3.4MPa（G）（HP選項6.8MPa（G）） | ||
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-7 Pa.m3/s以下 | ||
| 允許周圍溫度 | 5~45℃ | ||
| 允許環境濕度 | 10~90%RH（無結露） | ||
| 氣體接觸材料 | 主體SUS316，Ni，SUS302 | ||
| 隔膜FKM | |||
| 閥座FKM | |||
| 密封材料FKM（選件CR，Kallets） | |||
| 電氣連接 | Dsub 15針 | ||
| 流量設定 輸入信號 | 0~5 VDC（輸入阻抗1MΩ以上） | ||
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上） | ||
| 所需電源 | +15 VDC（±5％）150 mA， -15 VDC（±5％）300 mA | ||
| 配件（車身尺寸） | 標準1/2 SWL（3 / 4.16 UNF） | 標準3/4 SWL（1.1 / 16.12 UNF） | |
（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。
接線連接（D-sub 15PIN）
| PIN | 信號名稱 | PIN | 信號名稱 | |
|---|---|---|---|---|
| 1 | NC | 9 | 電源-15VDC | |
| 2 | NC | 10 | NC | |
| 3 | NC | 11 | 電源+ 15VDC | |
| 4 | NC | 12 | 電源COM | |
| 5 | 電源COM | 13 | NC | |
| 6 | 輸出信號0-5V | 14 | 設定信號 | |
| 7 | NC | 15 | NC | |
| 8 | 強制閥門打開/關閉 | |||
警告
3150/3250/3350/3450系列D-sub 15針和HFC / HFM系列
Z的D-sub 15引腳的布線布置不同。
連接不當可能會導致故障。
尺寸圖
