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北京華儀通泰環保科技有限公司


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日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器

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更新時間:2023-01-25 09:55:38瀏覽次數:240次

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產品簡介

日本HoribaS4828氣體質量流量控制器響應快速,可任意角度安裝,可對零點漂移有效的控制

詳細介紹

日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器響應快速,可任意角度安裝,可對零點漂移有效的控制。


日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器產品特點:

可以任意角度安裝

良好的線性——多段線性補償

快速的響應

電磁閥使用壽命大于等于100萬次

對零點漂移有效的抑制

良好的選擇性


日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器安裝尺寸圖:



日本Horiba S48 28氣體質量流量控制器技術參數:

編號

項目

S48 28/HMT

1

流量規格

(100,150,200)L/min

2

調節閥類型

電磁調節閥

3

調節閥靜止狀態

常閉

4

安裝角度

任意

5

流量控制范圍

5%~99%

6

流量測量范圍

0~99%

7

響應時間

2s(T98,設定值的±2% F.S.)

8

工作環境溫度

5℃~50℃

9

精度保證溫度

15℃~35℃

10

精度

±1.0%F.S.

11

線性精度

±0.5%F.S.

12

重復性

±0.2%F.S.

13

工作壓差

(100/150/200)L/min:(100/150/200)~300kPa

14

耐壓

3MPa

15

泄漏率

1×10-8 Pa?m3/s (He)

16

接觸氣體材料

316L,PTFE,Viton氟橡膠

17

管路接頭

Swagelok:3/8″ Φ10 VCR:1/2″
VCR:1/4″3/8″

18

供電電源

±15VDC(±5%)
+15V lt;100mA;-15V lt;200mA

+24VDC(寬電壓+11~+25V),
<350mA(+24VDC供電時)

19

設定信號

(0~5)VDC 輸入阻抗>1MΩ

4~20mA;(可定制:1~5V或0~5V)

20

流量輸出信號

(0~5)VDC 負載能力≤3mA


21

電氣接頭

D-SUB15,D-SUB9

22

重量(kg)

2.8



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