當前位置：西安奧信自動化儀表有限責任公司>>微小氣體流量計>>熱式氣體質量流量控制器AX10FD

熱式氣體質量流量控制器AX10FD

返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協議為準

產品型號

品牌

廠商性質其他

所在地

在線詢價收藏產品查看聯系電話

聯系方式：查看聯系方式

更新時間：2023-01-14 09:43:50瀏覽次數：442次

聯系我時，請告知來自環保在線

產品分類 品牌分類

  微小氣體流量計

全部產品列表

暫無信息

西安奧信自動化儀表有限責任公司

經營模式：其他

商鋪產品：531條

所在地區：

詢價 給他留言

產品簡介

熱式氣體質量流量控制器AX10FD1.產品介紹1.1用途與特點質量流量控制器(MassFlowController縮寫為MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制

詳細介紹

熱式氣體質量流量控制器AX10FD

1.產品介紹

1.1 用途與特點
質量流量控制器(Mass Flow Controller 縮寫為MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、***和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器

1.2 工作原理

AX10FD 系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。