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日立掃描電子顯微鏡-FlexSEM 1000 II

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產品簡介

FlexSEM 1000 II“的SEM更為緊湊"寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能。參數規格：項目內容分辨率*34.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式）15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式）5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）加速電壓0.3 ......

詳細介紹

FlexSEM 1000 II

“的SEM更為緊湊"
寬幅僅為45 cm的緊湊型的設計，仍具備4.0 nm的圖像分辨率。

全新開發的用戶界面和電子光學系統讓您深切體驗其高性能。

參數規格：

項目	內容
分辨率*3	4.0 nm（二次電子像、加速電壓：20 kV、高真空模式） 15.0 nm（二次電子像、加速電壓：1 kV、高真空模式） 5.0 nm（背散射電子像、加速電壓：20 kV、低真空模式）
加速電壓	0.3 kV～20 kV
倍率	×6～×300,000 （照片倍率） ×16～×800,000 （顯示器顯示倍率）
低真空設置	6～100 Pa
電子槍	集中燈箱（Pre-Centered Cartridge Filament）
樣品臺	3軸馬達驅動樣品臺 X：0～50 mm、Y：0～40 mm、Z：5～15 mm T：-15～90°、R：360° 可觀察范圍：直徑64mm（R聯用）*4
樣品尺寸	直徑80 mm（選配：直徑153mm）
樣品高度	40 mm
尺寸	機體：450（寬度）×640（進深）×690（高度） mm 電源盒：450（寬度）×640（進深）×450（高度） mm
選項	高敏感度低真空檢測器（UVD2.0）能量色散型X射線檢測器（EDS）
軟件	Multi Zigzag（連續視野圖像導入功能）

*PC、桌子、監控器由客戶準備*3機體和電源盒連接時候*4使用標準支架時。

產品特點：

FlexSEM 1000 II，憑借全新設計的電子光學系統和高靈敏度檢測器，可在加速電壓20 kV下實現4.0 nm的分辨率。全新開發的用戶界面，具有亮度和對焦自動調節功能，可以在短時間內進行各種觀察。此外，還搭載了全新的導航功能“SEM MAP"，這個功能可彌補電子顯微鏡上難以找準視野的缺點，實現最直觀的視野移動。