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深圳市啟誠儀器設備有限公司
SS-60系列掃描電子顯微鏡一、產品命名規則:SS-60系列產品作為基礎款臺式掃描電鏡
SS-60系列掃描電子顯微鏡
一、產品命名規則:
SS-60系列產品作為基礎款臺式掃描電鏡,能 大部分用戶的基本實驗需求,配置SE二次電子探測器與BSE背散射電子探測器,載物平臺可配置三軸(X,Y,R)手動平臺,也可升級為五軸(X,Y,R,Z,T)自動平臺,全系列產品均可配置EDS能譜分析儀,產品包括如下配置:
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | SS-60 | SS-60S | SS-60S-MS |
SS-60D | SS-60D-MS | ||
SS-60D-ST |
二、簡單說明:(Description)
(1) 放大倍率6萬倍(Magnification Max 60,000x)
(2)采用二次電子和背散射電子雙重探測器(Signal Detection: SE Detector+BSE Detector)
(3)1kV~30kV加速電壓選擇,圖像分辨率高(Accelerating Voltage:1kV to 30kV,High image resolution)
(4)通過選配EDS可進行元素成份分析(EDS is optional, for component analysis)
(5)高真空配置(High Vacuum System)
(6)Tilt(0~45)載物臺配置(可選擇)(Tilt Stage configuration( optional))
三、 技術參數:(Product specifications)
分辨率(Resolution) | 15nm (30kV, SE Image) |
20nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率(Magnification) | 30x~60,000x |
加速電壓(Accelerating Voltage) | 1kV to 30kV (1kV/5kV/10kV/15kV/20kV/30kV-6step) |
圖像檢測 (Signal Detection)` | 二次電子圖像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射電子圖像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
觀察模式 Observation mode | Standard Mode |
Charge-up reduction mode | |
電子槍系統(Electron Gun) | |
燈絲類型(Filament type) | 預對中鎢燈絲(Pre CenteredtungstenfilamentCartridge) |
偏壓系統(Bias voltage system) | 自動偏壓方式(Automatic mode) |
電子槍校正 (Electron gunalignment) | 手動方式(Manual mode) |
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