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北京天裕德科技有限公司


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TYD-E1型多角度激光橢偏儀

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產品型號TYD-E1

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更新時間:2022-12-15 17:52:35瀏覽次數:222次

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產品簡介

多角度激光橢偏儀使用632.8nm波長HeNe激光器,對測量薄膜厚度,折射率和吸收系數有非常出色的精度。儀器能夠分析單層膜,多層膜和大塊材料(基底)。

詳細介紹

  1、超高精度和穩定性,,來源于高穩定激光光源、溫度穩定補償器設置、起偏器跟蹤和超低噪聲探測器。
  2、高精度樣品校準,使用光學自動對準鏡和顯微鏡。
  3、快速簡易測量,可選擇不同的應用模型和入射角度。
  4、多角度測量,可支持復雜應用和精確厚度。
  5、全面預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域。
全面預設應用,包含微電子、光電、磁存儲、生命科學等領域。
  1、波長:632.8nm氦氖激光器。
  2、長期穩定性:d(y)=±0.01°;d(D)=±0.1°。
  3、折射率測量精度:5×10^-4for 100nm SiO2 on Si。
  4、弱吸光性薄膜厚度范圍(多晶硅):2μm。
  5、測量時間:120ms~1.5s(決定于測量方式)。
  6、入射角:手動角度計40°~90°,步進值5°。
  7、選項:360°旋轉單元;真空吸盤;x-y地形圖掃描載物臺。
  8、90°位置時y,D精度:d(y)=±0.002°;d(D)=±0.002°。
  9、膜厚測量精度:0.1? for 100nm SiO2 on Si。
  10、透明薄膜的厚度范圍:4μm。
  11、膜層數量默認:在基底或多層膜上的1-3層膜。
  12、激光束直徑:1mm。
  13、樣品載物臺:可調節高度和角度的樣品臺,150mm直徑。
  14、設置:高穩定性補償器,可得到0°和180°附近D的高精確度電腦控制的起偏器,定位/探測,自動校準高穩定旋轉分析器。

關鍵詞:補償器 顯微鏡
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