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PCE-3等離子清洗機

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產(chǎn)品型號

品       牌

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更新時間:2023-09-04 11:23:23瀏覽次數(shù):501次

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商鋪產(chǎn)品:30條

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品簡介:PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為?75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調(diào)

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介:PCE-3等離子清洗機的等離子腔體為?75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,輸出功率6.8W10.5W18W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備在射頻電源的作用下,去除速率可達10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長以前對其進行預(yù)處理,對生長具有顯著的作用PCE-3等離子清洗機配有一個真空泵,可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等保護氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。

PCE-3等離子清洗機操作視頻

  

產(chǎn)品名稱   PCE-3等離子清洗機

產(chǎn)品型號

   PCE-3

主要特點

   1、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。

   2、桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安全、環(huán)境友好、低成本。

技術(shù)參數(shù)

   1、輸入電壓:110V/220V50Hz/60Hz (請?zhí)崆斑x定),小于100W

   2、射頻輸出頻率:13.56MHz

   3、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V10mA6.8W;中功率設(shè)定—700V15mA10.5W

                   高功率設(shè)定—720V25mA18W

   4、等離子腔室:?75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸

   5、通入氣體:可通入多種氣體,如N2Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

   6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流

  量,采用三通閥門快速控制進氣、密封等離子腔室、排氣

清洗及蝕刻

 

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵)

注意事項

 不能使用可燃性氣體

可選配件

 本司研發(fā)的電阻真空計

 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測量儀器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1     Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測量。

 


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