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鄭州成越科學儀器有限公司
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簡單介紹： 緊湊型等離子清洗機帶有數字真空傳感器和顯示器，以及鉸鏈門。適用于各種氣體對2英寸以下晶圓片的納米級有機污染物進行清洗和去除。在高射頻功率下，有機去除率zui高約為10nm /min。緊湊型等離子清洗機是一種較好的單晶基材涂裝前預清潔的工具，可達到較好的涂膜質量。
緊湊型等離子清洗機主要特點：
1.使用各種氣體清洗和去除晶片上的納米級有機污染物，至多可容納2"。
2.涂層前預清洗單晶基板的優良工具，可獲得更好的薄膜質量。
3.鉸鏈式門，便于樣品裝載。
4.3"直徑石英腔室，適用于清潔2"晶圓，可選配石英舟。
5.石英室內的可移動石英管易于清潔和更換。
緊湊型等離子清洗機技術參數：
| 射頻功率 | 射頻功率（線圈上施加的高壓和高頻電流）可在三個級別調節：
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| 等離子室 | ?3"直徑×6.5"長的石英室 ?700 mL容量 ?高純度石英室比玻璃具有更長的使用壽命 | ||||||||||||
| 真空計和顯示器 | ?Stinger壓力表安裝在鉸鏈門上。 ?1/8"NPT針閥，可定性控制氣體流量和腔室壓力。 ?1/8"NPT三通閥，可快速切換出氣體，隔離腔室和排氣。 | ||||||||||||
| 真空泵 | 包括一個雙級旋片式真空泵 | ||||||||||||
| 輸入功率 | AC 208 - 240V, 50/60Hz,單相 | ||||||||||||
| 工作氣體 | ?可以選擇許多惰性氣體進行等離子體清潔，例如N2，Ar，空氣和混合氣體取決于將要處理的材料類型。 ?可以使用<5％H2混合惰性氣體 ?等離子清潔器不得使用。 | ||||||||||||
| 整體尺寸 |
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| 凈重 | 40磅 | ||||||||||||
| 保證 | 一年有限保修，終身支持(耐熱玻璃室無保修) |
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