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長沙沛鈺進出品貿易有限公司


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1200℃等離子增強HPCV

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更新時間:2023-02-28 09:45:51瀏覽次數:415次

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商鋪產品:487條

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產品簡介

產品詳情型號:OTF-1200X-S-II-4CV-PE產品概述:OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(HPCVD)雙溫區回轉爐系統

詳細介紹

產品詳情

型號:OTF-1200X-S-II-4CV-PE

產品概述:OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學氣相沉積(HPCVD)雙溫區回轉爐系統。此系統由射頻電源(帶自動匹配功能)、上游蒸發舟、4通道質子流量計控制系統及性能優異的真空泵組成。此套完整的設備可用于無機復合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆(如:制備鋰離子電池陰極粉末的導電涂層等)。

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技術參數實驗案例警示/應用提示配件詳情
設備名稱

1200℃等離子增強HPCVD回轉爐系統—OTF-1200X-S-II-4CV-PE (2019.12.23—科晶實驗室審核)

產品提示

1、多種配件可選提示   2、特殊設備尺寸設備   3、科晶實驗室邀請提示   4、配件妥善保管提示

產品特點

? 爐體可在0 ~ 30°內傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出;

? 射頻電源可實現等離子增強從而顯著降低實驗溫度;

? 齒輪驅動管式爐旋轉可有效地提高復合粉末熱處理的均勻性;

? 4通道質子流量計控制系統可以對氣體的輸送進行精確的調控;

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅體進行蒸發用于后續的混合物理化學氣相沉積階段。

相關視頻

QQ截圖20200629135906.jpg

           操作視頻

加熱爐參數

? 溫度:1100oC(<30min);連續工作溫度:< 1000℃;

? 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統,控溫精度:±1℃;

? 輸入功率:110V,單相,功率:1.5KW;

? 回轉爐旋轉速度:0-5 rpm;

? 爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。


圖片1.jpg  圖片1.jpg

蒸發舟參數

? 0.7mL氧化鋁坩堝(由鎢絲加熱圈包圍);

? S型熱電偶插入坩堝中實現對蒸發物料的精確測溫;

? 溫度可達1100℃,長期使用溫度1000℃。


蒸發舟照片.jpg  蒸發舟照片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現有不同功率的射頻電源可供選擇,以滿足不同實驗條件的需求。



300W射頻電源

500W射頻電源

100W射頻電源

輸出功率

0-300W可調

(穩定性:±1%)

0-500W可調

(穩定性:±1%)

0-100W可調

(穩定性:±1%)

射頻頻率

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

13.56 MHz

(穩定性:±0.5%)

匹配

自動匹配

自動匹配

手動匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷卻方式

風冷

風冷

風冷

輸入電壓

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

圖片

圖片2.jpg 

圖片3.jpg 

圖片4.jpg
真空系統

? 采用TRP-12的雙旋真空泵;

? KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵;

? 真空度可達10-2Torr。


圖片5.jpg


供氣系統

? 四通道質子流量計控制系統可實現氣體流量的精確控制(精確度:±0.02%);

? 流量范圍:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


? 電壓:208-240V, AC, 50/60Hz;

? 氣體進出口配件:6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;

? 不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出;

? PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設置。


圖片6.jpg      圖片7.jpg


產品尺寸和重量

? 爐體尺寸:1400 mm L ′600mmW′1250mm H;

? 混氣系統尺寸:600mmL′850mm W′700mm

? 凈重:90kg

? 運輸重量:136kg

設備尺寸.jpg

認證

? CE認證

? 所有電器元件通過 UL / MET / CSA認證

? 如您另外付費,我們可以保證單臺儀器的TUV(UL61010)或CSA 認證

圖片1.png

承諾

? 一年質保期,終身維護(不包括爐管、硅膠密封圈和加熱元件)


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