爐體結構：
•高純氧化鋁纖維作為爐膛材料
•采用三可加熱區，可達到600mm長的恒溫區
•外徑304mm.內徑203mm的石英管,帶有不銹鋼密封法蘭
•一個電動滑軌，上面裝載石墨舟和樣品
•高純石墨舟，可轉載12片圓片或方形片，尺寸可達6英寸
• 1000W RF（13.5MHz）等離子電源
• 4通道混氣系統
•可選購真空泵（油泵或無油泵）
電源要求：
•208-240VAC，單相，50/60Hz
• 9KW
石英管，法蘭
•外徑304mm×內徑203mm×長度1300mm
•設備包含一根石英管，可購買備用石英管
•配有SS304不銹鋼法蘭，帶有KF40真空接口&閥門和進氣口&出氣口
•安裝有一套雙滑軌，直流電機驅動法蘭和樣品舟移動進出石英管
石墨舟：
•石墨舟采用高純石墨（產自日本）制作，帶有RF電極
•12個插槽（4×3）可裝載樣品尺寸6英寸×6英寸×0.5mm厚度或直徑6英寸圓片
•客戶可定制石墨舟（4×4或5×4）
管式爐:
•加熱元件：NiCrAl合金絲
•加熱區：3個加熱區（300mm十300mm十300mm）
•恒溫區：600mm(+/- 2°C, 3個溫區設置同樣的溫度)
•工作溫度：400-1100℃
•加熱冷卻速率：10℃/min
退溫系統：
•3塊3000型歐陸（Eurotherm）儀表，可設置24段升降溫段
•3根K型熱電偶
•控溫精度：+/- 0.1°c
•包含軟件和PC界面模塊
射頻等離子電源：
•輸出功率：20-1000W（可調節，穩定性± 1%）
• RF頻率：13.56MHz
•匹配方式：自動匹配
•冷卻：空氣冷卻
•噪音：<50dB
•輸入電源：110-240VAC，50/60Hz
供氣系統：
•4個質量流量計安裝在一個移動架內，控制精度：±1.5%FS，重復精度:±0.2%FS
•控制1： 0~100SCCM
•控制2： 1~199SCCM
•控制3： 1~199SCCM
•控制4： 1~499SCCM
•觸摸屏控制，設置各種參數
•安裝有RS485接口，用于通過PC遠程控制
•每個工位的流量控制范圍可按客戶要求定制
真空泵，真空計：
•一個防腐型數顯真空計，測試范圍可達到10-5torr
•設備使用需要真空泵，可在本公司選購各種真空泵
凈重:
500kg
質保：
一年保質期，針對電器和機械部分，不包括加熱元件，石英管，密封圈
