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深圳市中圖儀器股份有限公司


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光學輪廓測量儀SuperView W1中圖儀器(chotest)

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產品型號SuperView W1

品       牌

廠商性質其他

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更新時間:2023-01-11 12:54:07瀏覽次數:379次

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產品簡介

中圖儀器研發生產的SuperViewW1光學輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器

詳細介紹

中圖儀器研發生產的SuperView W1 光學輪廓測量儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器??蓽y低反射率到高反射率、各類從超光滑到粗糙的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、微觀幾何輪廓、平整度、曲率等,可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、3C電子玻璃屏及其精密配件、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。
 

在生產中,微觀上的表面形貌對工程零件的許多技術性能的評價具有直接的影響,為了能更全面、更真實地反映零件表面的特征以及衡量表面的質量,表面三維微觀形貌的測量就越來越重要。SuperView W1 光學輪廓測量儀是利用白光干涉掃描技術為基礎,用于樣品表面微觀形貌檢測的精密儀器??梢赃_到納米級的檢測精度,并快速獲得被測工件表面三維形貌和數據。

產品參數

產品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件,操作無須進行切換界面,預先設置好配置參數再進行測量,軟件自動統計測量數據并提供數據報表導出功能,即可快速實現批量測量功能。
2) 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能。
4) 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能,其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結構分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數和體積參數等功能。
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,設置分析模板,結合測量中提供的自動測量和批量測量功能,可實現對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數據的功能。

產品性能
縱向掃描:≤10.3mm,與選用物鏡相關
掃描幀速:50FPS/s
粗糙度重復性:0.005nm(依據ISO 25178-2012)
光學分辨率:0.4μm~3.7μm,與選用物鏡相關
*大點數:1048576(標準)
臺階測量:準確度≤0.3%,重復性≤0.08%1σ
 
 

SuperView W1 光學輪廓測量儀主要用于成品的質量管理,確保良品合格率。適用于各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙、臺階高度、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、波紋度、面形輪廓、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求的領域中,可以說只有白光干涉儀才能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。


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