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離子濺射儀

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更新時間：2023-11-11 11:34:22瀏覽次數：584次

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產品簡介

離子濺射儀是為電鏡制樣設計的離子濺射噴金儀，實現離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜

詳細介紹

離子濺射儀是為電鏡制樣設計的離子濺射噴金儀，實現離子在樣品表面濺射,形成金屬薄膜。
當需要使用掃描電子顯微鏡（SEM）分析圖像或成分時，由于非導電物體的充電現象會導致圖像失真，使正常測量變得困難。由于電子束在非導電樣品表面積聚帶電粒子，導致圖像失真，因此必須進行濺射（涂層）工藝。

離子濺射儀特點

使用7英寸觸摸顯示屏進行方便的控制
2.真空→ 自動涂層→ 一鍵式通風口控制
3.庫：保存頻繁使用條件（zui多10個）
4.樣品樁7根（Φ14㎜) 在室內一起安裝
5.防止樣品被低壓涂層損壞（1至10mA）
6.通過緊湊的尺寸zui大限度地減少安裝空間

離子濺射儀規格參數

真空度：2.0 x 10-1Torr

離子電流：1-10mA

靶材：純金或Pt

樣品腔尺寸：Φ140mm(D) x 100mm(H)

樣品臺：Φ50mm(D) x 30mm(H)

靶材尺寸：Φ50mm(D)

濺射時間：1-600秒

真空泵：100L/min

尺寸：Main : 380(W)x240(D)x250(H)mm, 10kg

供電要求：110~220VAC ±10%, 50/60Hz

關鍵詞：離子濺射儀掃描電子顯微鏡真空泵

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