Teledyne HFM-D-300A/B 質量流量計和HFC-D-302A/B 質量流量控制器
HFM-D-300A/B質量流量計，流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm
HFC-D-302A/B質量流量控制器，流量范圍0-5 sccm到0-25 slm
全金屬，快速響應，精確度高！
質量流量技術提供可靠，可重復和準確的氣體流速測量。
Teledyne HFM-D-300A / HFC-D-302A質量流量儀器的流量范圍為0-5 sccm至0-25 slm; 使用所有金屬密封件，提供模擬和數字輸出，并由不銹鋼制成。通過基于Windows的軟件界面提供簡單，用戶友好的數字通信。
數字功能中包含傳感器，閥門和溢流的自診斷功能。同樣令人感興趣的是自動調零功能，它可以檢測閥門何時關閉并自動重置零點。這些質量流量計和控制器可以存儲多達10種不同范圍和氣體的校準。另一個功能是內置累加器，用于監控用戶設定條件下的燃氣使用情況。
±（讀數的0.5％+滿量程的0.2％）精度
應用和行業
泄漏測試
薄膜沉積
高純度氣體輸送
熱火焰噴涂
氣體混合
制藥工藝
Teledyne HFM-D-300A/B質量流量計
范圍：/t0-5 sccm到0-25 slm（N 2）
準確性：/t+（讀數的0.5％+滿量程的0.2％）
重復性：/t+ 0.15％的FS
*大工作壓力：/t500 PSIG（可選1000 PSIG）
安頓時間：/t通常<1秒
模擬I / O（標準）：/t0 - 5 VDC
模擬I / O（可選）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
數字I / O（標準）：/tRS-232，RS-485
模擬連接器：/t15針超小型D
數字連接器：/t雙RJ-12
電源要求：/t11 - 36 VDC 3.1瓦（*大值），單極或雙極（例如+ 15 VDC，+ 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，鎳200,304 SS，302 SS
Teledyne HFC-D-302A/B控制器
范圍：/t0 - 5sccm至0 - 25 SLM（N 2 ）
準確性：/t+ （0.5％讀數+滿刻度的0.2％）
重復性：/t+ FS的0.15％
*大工作壓力：/t500 PSIG（可選1000 PSIG）
安頓時間：/t典型值<1 - 2秒
模擬I / O（標準）：/t0 - 5 VDC
模擬I / O（可選）：/t0 - 10 VDC，0 - 20毫安，4 - 20毫安
數字I / O（標準）：/tRS-232，RS- 485
模擬連接器：/t15針微型d
數字連接器：/t雙RJ-12
電源要求：/t11 - 36 VDC 6.7瓦特（*大），單極性或雙極性（例如 + 15 VDC， + 12 VDC）
接液材料：/t316L SS，鎳200，302 SS，304 SS，的Kalrez（閥座）
