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北京華儀通泰環保科技有限公司
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日本HoribaS500氣體質量流量控制器適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制
日本Horiba S500氣體質量流量控制器適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制。
日本Horiba S500氣體質量流量控制器產品簡介：
S500熱式質量流量控制器能夠在較大的量程范圍內在線實時地準確控制氣流質量流量。利用氣流流過不銹鋼毛細管，改變毛細管溫度分布，造成上下游溫差方法，而測得氣體質量流量;不同于測壓力或測體積方法等類別流量計，其流量精度不受氣體壓力、環境溫度影響。上下游溫差測量電路信號實時反映氣流瞬時流量，并通過PID電路實時控制比例電磁閥而準確控制流量，所以特別適用于過程控制中在線實時的氣體流量的準確測量和控制。
S500系列產品廣泛應用于半導體制造、真空鍍膜、分析、化工、環境等行業的氣流測量與控制。
日本Horiba S500氣體質量流量控制器產品特點：
具有流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應速度快、過沖小等特點。
耐壓高及適用于真空條件下工作。氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。氣阻較小，工作壓力范圍寬。
閥體采用不銹鋼(316L)結構，氣密材料采用PTFE、氟橡膠等。耐腐蝕性強。線路板、閥體、彈簧片、精致電阻和電容等為重要零部件，均執行嚴格的入廠標準。
可任意角度安裝。
電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統或自動控制系統配合工作。
日本Horiba S500氣體質量流量控制器技術參數：
項目 | S500 (規格Type AR111) |
外部密封 | 氟橡膠 |
接觸氣體材料 | SUS316L,氟橡膠,磁性不銹鋼 |
調節閥類型 | 非通電時常閉 |
滿量程流量(N2換算流量) | 10,20,30,50,100,200,300,500 mL/min |
流量控制范圍 | 2%～99%F.S. (0.1～5V DC) |
流量測量范圍 | 0～99%F.S. (0～5V DC) |
響應時間（輸出電壓） | 1秒 (保證 1.5秒以內T98) |
工作環境溫度 | 5～45℃ (精度保證 15～35℃) |
流量精度 | ±1.0%F.S |
線性 | ±0.5%F.S. |
重復性 | ±0.2%F.S. |
工作壓差 | 10mL/min～5L/min :50～300kPa(d) |
很大工作（使用）壓力 | 300kPa(G) |
耐壓 | 3MPa(G) |
泄漏率 | 1×10-8Pa?1?1m3/s(He)以下 |
流量設定信號 | 0.1～5VDC(2%～99%F.S.) |
流量輸出信號 | 0～5VDC(0%～99%F.S.) |
供電電源 | +15V±5% 100mA以下 |
管路接頭 | 1/4inch HM-SWL、1/4inch SWL、φ6mm HM-SWL、1/4inch VCR |
安裝角度 | 任意 |
電氣接頭 | D-Sub 15pin |
輸入輸出阻抗 | 輸入：1MΩ以上 輸出：3mA以下 |
附加功能 | Auto-zero、Auto-close |
滿量程流量50mL/min一下的響應時間為2S以內
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