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K1000質量流量控制器

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更新時間：2022-11-15 16:27:24瀏覽次數：339次

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北京七星華創流量計有限公司

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產品簡介

K1000為高精度，高穩定性的熱式質量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm，K1000A為小流量量程MFC（從10sccm~50slm），具備多氣體多量程功能，8種BIN Size能對應10sccm～50slm的所有流量，在校正時事先設定4種氣體的數據，通過軟件即可進行氣體種類、流量的變更設定，操作簡便；K1000C為大流量量程（200slm~1000slm），響應速度快（≤3......

詳細介紹

優勢

? 傳感器部分采用哈氏合金，耐腐蝕性強。
? 產品精度高，可達99%～25%：±1.0% of S.P.、25%～2%：±0.25%F.S. 響應時間快(≤1s)
? 產品具有多氣體多量程功能，可對氣體種類、流量的變更設定
? 支持大流量(可到1000L)數字模式通訊模式
? 產品通過CE、RoHS認證

技術參數

型號	K1000A				K1000B	K1000C
流量規格(N2換算流量)	Bin 1: 10 SCCM ~30SCCM
	Bin 2: 30 SCCM ~100SCCM	Bin 6: 3SLM ~10SLM			60SLM 、100SLM、	200SLM、300SLM、
	Bin 3: 100SCCM~300SCCM	Bin 7: 10SLM~ 30SLM	Bin 8: 30 SLM ~50SLM		150SLM、200SLM	400SLM、500SLM	600SLM、1000SLM（N2, H2, Air 等)
	Bin 4: 300 SCCM ~1SLM
	Bin 5: 1SLM ~3SLM
閥類型	N/O：常開型、N/C：常閉型					N/C：常閉型
流量控制范圍	2%～99%F.S.
準確度	99%～25%：±1.0% of S.P.， 25%～2%：±0.25%F.S. （精度保證范圍15～35℃）				±1%F.S.(精度保證范圍15～35℃)	±2%F.S.(精度保證范圍15～35℃)
工作環境溫度	5～50℃				5～45℃
響應時間	≦1sec				≦3sec
線性	±0.5%F.S.
重復精度	±0.2%F.S.
工作壓差范圍		N/O 　 100～300KPa (3SLM～10SLM)
	50～300KPa	N/O 　150～300KPa (11SLM～30SLM)		200～300KPa
	（Ar: 100～300KPa）	N/C 　100～300KPa (3SLM～30SLM)		（Ar: 250～450KPa）	100～300KPa	150～300KPa	300～450kPa (H2：150～300kPa)
		（Ar 200～3500KPa）
溫度系數	Zero:±0.1%F.S./℃ Span: ±0.1%F.S./℃
工作壓力	400KPa（Ar:500KPa）				700KPa
耐壓	1MPa
漏率	金屬密封：1×10^－11Pa?m³/sec He (1×10^－10 atm?cc/sec He)					橡膠圈密封：1×10^-7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)
	橡膠圈密封：1×10^－7Pa?m³/sec He (1×10^－6 atm?cc/sec He)
密封材料	金屬密封；氟橡膠；氯丁橡膠					氟橡膠；氯丁橡膠
通訊形式	模擬：0~5V DC 數字：RS485、DeviceNet、EtherCAT						模擬：0~5V DC 數字：RS485、DeviceNet、
電源	模擬/數字：+15VDC 50mA，-15VDC 200mA; DeviceNet：+11~+24VDC，5.5VA(5.5W)
標準接頭形式	VCR 1/4陽接頭、雙卡套1/4陽接頭、 1.5'' W-Seal、1.125'' W-Seal、 1.125'' C-Seal				VCR 3/8陽接頭、雙卡套3/8陽接頭	VCR 1/2陽接頭、雙卡套1/2陽接頭
重量	1.0kg				3.0kg	3.7kg