FGL（RTP）滑軌式管式爐(T max 1100℃)
滑軌式管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。
特點
1、 工作溫度RT～1000℃。
2、 智能程序控溫儀控制精準,可編輯、儲存并調用多段程序。
3、 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內嵌式環繞加熱。
4、 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構。
5、 不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。
6、 兩端可調節式法蘭支撐結構，延長石英管的使用壽命。
7、 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。
8、 安全保護當爐體漏電時自動斷電。
額外選配 爐內測量系統（氧含量檢測系統、溫度檢測系統）；
真空系統（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；
氣氛系統（浮子流量計、質量流量計）；
監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）；
注：選件需配置拓展柜體；
技術參數
| 設備常規型號 | 高溫度 | 管徑 | 加熱區 | 溫區數 | 熱電偶 | 電壓 | 功率 |
| FGL(RTP)-40/11/1 | 1100℃ | 40mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V | 3、0KW |
| FGL(RTP)-50/11/1 | 1100℃ | 50mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
| FGL(RTP)-60/11/1 | 1100℃ | 60mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
| FGL(RTP)-80/11/1 | 1100℃ | 80mm | 320 mm | 1個 | K型 | 220V |
注：給出的 高溫度為工作管外測定，其它溫區個數和加熱區長度可根據客戶工藝要求定制。
哪個廠家的質量好?生產廠家西格馬質量好，售后完善。
