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Aymont目前生產和款商業型晶體生長爐，可用于量產150mm
Aymont目前生產和款商業型晶體生長爐，可用于量產150mm。SP-150生長爐主要將用來量產150mm SiC晶圓。
SiC量產解決方案
主要特點
• 電感加熱式物理氣相傳輸SiC生長爐
• 雙壁水冷石英管
• 2英寸，100mm或150mm晶圓工藝
• 高溫計控制和電源控制，保證生長爐穩定運行
• 自動PLC控制、帶工藝、觸屏、安全互鎖/警報等功能
• 遠程監測和控制
• 占地空間最小的SiC生長爐
應用領域
• 電力電子（肖特基二極管/MOSFETs場效晶體管/JFETs結型場效應晶體管/IGBTs絕緣柵雙極晶體管,BJTs晶體管/晶體閘流管/SiC pn結二極管）
• 功率因數補償/太陽能逆變器/電動汽車
• 基片晶圓/GaN基HB-LEDs/顯示屏/汽車/通用照明
• GaN基高頻器件
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