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熱解碳化硼生長爐

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具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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更新時間:2022-10-30 14:32:37瀏覽次數(shù):427次

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商鋪產(chǎn)品:5條

所在地區(qū):

產(chǎn)品簡介

熱解碳化硼生長爐主要用于半導(dǎo)體領(lǐng)域,如OLED坩堝、PBN板材/環(huán)舟、VGF坩堝、LEC坩堝等的制備

詳細(xì)介紹

熱解碳化硼生長爐技術(shù)特征

采用*的控制技術(shù),能精密控制BCl3/NH3的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動小;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時間長,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/BCl3/NH3

熱解碳化硼生長爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)/型號VCVD-0305-BNVCVD-0608-BNVCVD-0612-BNVCVD-0812-BNVCVD-1120-BNVCVD-1218-BNVCVD-1315-BNVCVD-1520-BN
工作區(qū)尺寸 φ×H(mm)300×500600×800600×1200800×12001100×20001200×18001300×15001500×2000
溫度(℃)20002000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±5±7.5/±10±7.5/±10±7.5/±10±10/±15±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。

熱解碳化硼生長爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組

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