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手動光譜橢偏儀

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產(chǎn)品型號FPANG-SE200BM-M300

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更新時間：2022-12-03 15:58:08瀏覽次數(shù)：231次

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孚光精儀公司

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產(chǎn)品簡介

這款手動光譜橢偏儀是一種手動變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍，手動改變?nèi)肷浣?/p>

詳細介紹

這款手動光譜橢偏儀是一種手動變角光譜橢偏儀和深紫外光譜橢偏儀,具有250-1100nm的波長范圍，手動改變?nèi)肷浣恰Ｊ謩觭pectroscopic ellipsometer光譜范圍覆蓋從深紫外到可見光再到近紅外.深紫外波長非常適合測量超薄薄膜，比如納米厚度薄膜測量,硅晶圓薄膜厚度測量，典型值在2nm左右。對于測量許多材料的帶隙，深紫外光譜橢偏儀也非常重要。

橢圓偏振技術(shù)是通過研究光束在樣本表面反射后偏振態(tài)變化而獲得表面薄膜厚度等信息的薄膜測量技術(shù)。
與反射計或反射光譜技術(shù)不同的是，光譜橢偏儀參數(shù)Psi 和Del并非在常見入射角下獲得。通過改變?nèi)肷浣谴笮。色@得許多組數(shù)據(jù)，這樣就非常有助于優(yōu)化橢偏儀測量薄膜或樣本表面的能力，因此變角橢偏儀功能遠遠大于固定角橢偏儀。
改變橢偏儀入射角的方法有兩種，一種是手動調(diào)節(jié)，一種是自動調(diào)節(jié)入射角，我們可提供兩種模式的橢偏儀。

手動光譜橢偏儀SE200BM特色
易于安裝，拆卸和維護
*的光學(xué)設(shè)計
自動改變?nèi)肷浣牵肷浣欠直媛矢哌_0.01度
高功率250-1100nm光源適合多種應(yīng)用
采用陣列探測器確保高速測量
測量薄膜膜堆的薄膜厚度和折射率
可用于實或在線監(jiān)測薄膜厚度和折射率
具有齊全的光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)庫
提供工程師模式，服務(wù)模式和用戶模式三種使用模式
靈活的工程師模式用于各種安裝設(shè)置和光學(xué)模型測量
一鍵快速測量
全自動標定和初始化
精密樣品準直界面直接樣品準直，不需要額外光學(xué)
精密高度和傾斜調(diào)整
適合不同材料和不同后的樣品襯底基片
2D和3D數(shù)據(jù)顯示輸出

手動光譜橢偏儀SE200BM參數(shù)
波長范圍：250-1100nm
波長分辨率：1nm
測量點大小：1-5mm可調(diào)
入射角：10-90度可調(diào)
入射角分辨率：0.01度
可測樣品大小：高達300mm 直徑
可測樣品厚度：高達20mm
測量薄膜厚度：0nm ---30um
測量時間：~1s/點
精度：~0.25%
重復(fù)精度：<1A
手動光譜橢偏儀SE200BM可選配件
反射或透射光度測量配件
微點測量小面積
X-Y位移臺用于厚度繪圖
加熱臺/制冷臺用于薄膜動力學(xué)研究
垂直樣品安裝測角計
波長拓寬到IR范圍
掃描單色儀配置

關(guān)鍵詞：橢偏儀位移臺

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