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深圳市邁昂科技有限公司
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通過橢偏參數、透射/反射等參數測量，實現各種單層到多層的各向同性/各向異性薄膜膜厚、光學常數快速表征
一、產品優勢
● 專業光譜橢偏解決方案
● 超高精度、快速無損測量
● 系列配置靈活，支持功能定制設計
● 豐富的材料數據庫與算法模型庫
支持多功能靈活配置
系列配置靈活，可根據不同應用場景支持多功能模塊定制化配置
自動變角模塊
自動找焦模塊
Mapping測量模塊
微光斑測量模塊
二、應用案例
三、系列產品
四、技術規格
型號 | SE-VM | SE-L | SE-Mapping | SE-VE |
自動化程度 | 角 | 自動變角 | 固定角+mapping | 固定角 |
應用定位 | 通用型 | 自動型 | 檢測型 | 經濟型 |
基本功能 | Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜 | Psi/Delta、N/C/S、R等光譜 | ||
分析光譜 | 380-1000nm（支持擴展至210-1650nm） | 400-800nm | ||
單次測量時間 | 0.5-5s | |||
重復性測量精度 | 0.01nm | 0.05nm | ||
光斑大小 | 大光斑2-4mm，微光斑200μm/100um | 大光斑2-4mm | ||
折射率重復性精度 | 0.0005 | 0.0001 | ||
入射角范圍 | 45-90°（5°步進） | 45-90° | 65° | 65° |
入射角調節方式 | 手動變角 | 自動變角 | 固定角 | 固定角 |
找焦方式 | 手動找焦 | 自動找焦 | 手動找焦 | 手動找焦 |
Mapping行程 | 不支持 | 100*100mm(可選配) | 300*300mm(可選配) | 不支持 |
支持樣件尺寸 | 至180mm | 至200mm | 至300mm | 至160mm |
● 重復性精度指標針對100nmSiO2/Si標準樣件30次重復性測量；
● 有關Mapping型號命名與其行程尺寸有關，并支持尺寸定制；
● 儀器具體技術參數需與實際功能模塊、配件有關，表中數據僅供參考。
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