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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器

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日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置，用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

HORIBA STEC質(zhì)量流量控制器是一種計(jì)測(cè)和控制流體流量的裝置。流體的流量計(jì)測(cè)通?？煞譃轶w積流量和質(zhì)量流量。體積流量由于受到計(jì)測(cè)時(shí)環(huán)境溫度和壓力的影響，如需要準(zhǔn)確測(cè)定時(shí)，須對(duì)溫度和壓力進(jìn)行調(diào)整。而質(zhì)量流量計(jì)在測(cè)定流體質(zhì)量的時(shí)候，不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準(zhǔn)確地進(jìn)行流體測(cè)量。在須對(duì)流量進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)測(cè)和控制的領(lǐng)域，質(zhì)量流量控制器被廣泛的使用，例如半導(dǎo)體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微電子加工制造業(yè)等。

提供多氣體，多量程的解決方案，是銷量很多的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬密封，橡膠密封

適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制適用于廣泛的用途：在普通產(chǎn)業(yè)市場(chǎng)中，擁有眾多的銷售業(yè)績(jī)，低成本：產(chǎn)品系列中有力求具有成本優(yōu)勢(shì)的型號(hào)：SEC-E40MK3/E50MK3 SEC-E60

用于寬廣范圍的流量控制，其控制范圍可以從0.2 SCCM到1000 SLM(以N2為標(biāo)準(zhǔn))

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我們會(huì)努力按照原廠技術(shù)參數(shù)翻譯編輯，如技術(shù)參數(shù)中英文有差異，以英文參數(shù)為準(zhǔn)。

日本Horiba STEC SEC-E40氣體質(zhì)量流量控制器技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)SEC- (質(zhì)量流量控制器)E40/E40MK3E50/E50MK3SEF- (質(zhì)量流量計(jì))E40E50

適用氣體種類*1	非腐蝕性氣體(MK3型號(hào)適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He)
氣體接觸部材質(zhì)	SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼
閥門型號(hào)	非通電時(shí)　關(guān)閉
標(biāo)準(zhǔn)流量量程 (N2相應(yīng)F.S.)	10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM	20/30 SLM
流量控制范圍 (適于SEC系列)	2?99% F.S.
流量測(cè)量范圍 (適于SEF系列)	0?99% F.S.
響應(yīng)速度	1秒以內(nèi)(T98)
流量精度	±1% F.S.
直線性	±0.5% F.S.
反復(fù)性	±0.2% F.S.
工作差壓值值 (適于SEC系列)	10 SCCM?5 SLM：50?300kPa(d)　10?30 SLM:100?300kPa(d)
使用壓力 (適于SEF系列)	300kPa(G)以下
耐　壓	1MPa(G)以下
外部泄漏率	1×10-8Pa?m3/s(He)以下
使用環(huán)境溫度	5?50℃(精度的確保：15?35℃)
流量設(shè)定信號(hào)	0.1?5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2?99% F.S.
流量輸出信號(hào)	0?5VDC(很小負(fù)荷電阻2kΩ)
驅(qū)動(dòng)電源	+15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA	＋15VDC ±5% 50mA ?15VDC ±5% 200mA 3.9VA
標(biāo)準(zhǔn)接頭*2	1/4SWL 類型