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深圳市萬德泉科技有限公司


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FC-R7800CD質量流量控制器

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更新時間:2022-08-26 11:15:07瀏覽次數:238次

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產品簡介

FC-R7800CD質量流量控制器FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。市場價: 0.00價格:0.00型號: ......

詳細介紹

FC-R7800系列不僅能提供高精度流量控制。
采用金屬材質密封具備優異的低泄漏特性,可適用于絕大多數氣體控制應用。提供行業通用和AE電氣信號可選方案,可方便對用戶使用的質量流量控制器(MFC)進行替換,操作簡單。

特點:

高精度

高信賴和可靠性

耐腐蝕設計

采用金屬密封材質

VCRSwagelok互換的氣路接口

10SCCM200SLM滿量程范圍

方便的互換性

高速應答優秀的統一性,目前世界上有大約7萬只在運行中的產品,內的返修率不到0.5%,廣受客戶贊譽

方便的互換性


技術參數:

性能指標

FC-R7800CD/FC-R7800D系列

FC-R7810CD/FC-R7810D系列

FC-R7820CD/FC-R7820D系列

滿量程范圍

10Sccm-5Slm

N/O:6-20slm*

N/C:6-50slm**

35-200Slm

響應時間

滿流量的±2%范圍內,小于2

滿流量的±2%范圍內,小于3

精度

≤±1%滿量程

≤±2%滿量程

線性鍍

滿量程±0 5%

滿量程±0 5% 1

滿量程±1%

重復性

滿量程±0.2%

泄漏率

1X10E-11 Pa.m 3/sec

控制范圍

滿流量的2%-5% #2

壓差

49Kpa-275Kpa

69Kpa-275Kpa

98Kpa-275Kpa

147Kpa-275Kpa

正常工作壓

490Kpa

進氣壓力

980Kpa

溫度范圍

5-45(41-113)

輸入電源

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 180mA

+15VDC±2% 25mA

-15VDC±2% 200mA

功率

3.1W max

3.5W max

輸入信號

0-5 VDC

輸出型號

0-5 VDC

控制閥形式

常開或常閉電磁閥

密封件

金屬密封

材質

316L316PTFE,不銹鋼(氟橡膠,氯丁橡膠)

標準接口

1/4"VCRSwagelok兼容

3/8"VCR,1/4"VCR

重量

1.0KG

2.7KG

1滿量程流量值大于30SLM線性度滿量程±1%

2滿量程流量值大于150SLM控制范圍為5%-99%

3滿量程流量值大于150SLM壓差范圍為147-296Kpa

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