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捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡

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更新時間:2022-12-26 16:25:36瀏覽次數:190次

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產品簡介

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡采用新開發的超高分辨率GBSH模式,達到了高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍,將探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優化組合,實現了更高的亮度,能有效采集電子槍中發射的電子...

詳細介紹

捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡采用新開發的超高分辨率GBSH模式,達到了高水準的分辨率。浸沒式肖特基Plus電子槍,將探針電流從200nA提高到了500nA。電子槍和低像差聚光鏡的優化組合,實現了更高的亮度,能有效采集電子槍中發射的電子,即使在低加速電壓下也能獲得幾pA~數10 nA 探針電流,保持最小的物鏡光闌就可以進行納米尺寸的高分辨率觀察、快速元素面分布及EBSD分析。
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡配有四種檢測器:高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同,二次電子和背散射電子的數量會改變,因此可以選擇電子的能量,USD檢測被過濾器彈回的低能量電子,BED通過檢測低角度的背散射電子,能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。
分辨率 0.7 nm(15 kV)、0.7 nm(1 kV)
分析模式:3.0 nm (5kV、WD10mm、5nA)
倍率 × 25 ~ × 1,000,000
加速電壓 0.01kV ~ 30kV
束流 數pA~500nA
自動光闌角控制透鏡 內置
檢測器 高位檢測器(UED)
低位檢測器(LED)
能量過濾器 UED過濾器電壓可變功能內置
Gentle Beam模式 內置
樣品臺 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅動
樣品移動范圍 X:70mm, Y:50mm  Z: 2mm to 25mm 傾斜-5 ~ +70°  旋轉360°
應用實例
捷歐路JEOL JSM-7800FPRIME 熱場發射掃描電子顯微鏡標配了GBSH模式。下圖是高定向熱解石墨(HOPG)解理面的二次電子像,到達樣品時的能量為1keV,左圖中樣品偏壓為-2kV,右圖中樣品偏壓為-5kV。 可以看出利用GBSH(樣品偏壓-5 kV)模式觀察,HOPG的微細結構更加清晰,達到的分辨率更高。

 


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