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日立高新掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

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日立高新掃描電子顯微鏡FlexSEM1000日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM1000

詳細(xì)介紹

日立高新掃描電子顯微鏡FlexSEM 1000

日立公司于2016年4月15日在發(fā)布了新型掃描電子顯微鏡——FlexSEM 1000。該產(chǎn)品結(jié)構(gòu)緊湊,占地面積小,但分辨率不輸大型電鏡,同時(shí)操作極其簡(jiǎn)便,幾乎不用培訓(xùn)就可操作。緊湊型設(shè)計(jì),分辨率為4 nm。

  掃描電子顯微鏡可對(duì)材料的表面進(jìn)行高倍率觀察及高精度元素分析,在納米技術(shù)、生命科學(xué)、產(chǎn)品設(shè)計(jì)研發(fā)及失效分析等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。 近年來(lái),掃描電鏡觀察表面精細(xì)結(jié)構(gòu)及元素分析的需求日趨增加,而越來(lái)越多的用戶希望能在生產(chǎn)線、品保檢驗(yàn)線和辦公區(qū)等有限的空間里使用掃描電子顯微鏡。因此,體積小、操作簡(jiǎn)便、分辨率高的掃描電子顯微鏡備受關(guān)注。FlexSEM 1000主機(jī)寬450mm、長(zhǎng)640mm,相比SU1510型號(hào)體積減小52%,重量減輕45%,功耗減小50%,且配備標(biāo)準(zhǔn)化的電源接口。主機(jī)與供電單元可分離,安裝非常靈活。

  FlexSEM 1000采用設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和高可靠性、高靈敏度的探測(cè)器,分辨率高達(dá)4nm。FlexSEM 1000有多種自動(dòng)化功能,操作簡(jiǎn)便,即便是初次操作者也能快速拍出高質(zhì)量圖像。另外,新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」可使用各種光學(xué)圖片或電鏡照片進(jìn)行導(dǎo)航,一鍵就快速精準(zhǔn)地切換至感興趣的高倍率視野。

特點(diǎn):

a. 通過(guò)高靈敏度二次電子探測(cè)器,背散射探測(cè)器,低真空探測(cè)器(UVD*2),實(shí)現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察

b. 操作簡(jiǎn)捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片

c. 新開(kāi)發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

d. 大窗口(30 mm2SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2

*1 設(shè)置在桌面時(shí),分離主機(jī)和電源箱

*2 選配

項(xiàng)目

內(nèi)容

分解能*3

4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)

加速電壓

0.3 kV ~ 20 kV

放大倍率

6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)

低真空模式

真空范圍:6 ~ 100 Pa

電子槍

預(yù)對(duì)中鎢燈絲

樣品臺(tái)

3-軸自動(dòng)馬達(dá)臺(tái)
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°

樣品尺寸

直徑80 mm

樣品高度

40 mm

尺寸

主機(jī):450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm

探測(cè)器選配

· 高靈敏度低真空二次電子探測(cè)器(UVD)

· 能量分散型X線探測(cè)器(EDS)

 

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