名稱

OTF-1100X-15-III

爐體結(jié)構(gòu)

雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體表面溫度低于70℃。

采用氧化鋁纖維作為爐膛材料。

加熱元件：Sic棒。

設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，以保障爐膛內(nèi)部溫度均勻性（爐體加熱前，管堵必須放入爐管內(nèi)部）。

此管式爐可作為退火或擴(kuò)散管式爐（6英寸或8英寸晶片可用特殊使用支架裝載）。

電動(dòng)開(kāi)啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡(jiǎn)便。

結(jié)構(gòu)圖 氧化鋁管堵 結(jié)晶裝載 電動(dòng)開(kāi)啟

加熱區(qū)

總加熱區(qū)長(zhǎng)度：1000mm

三個(gè)加熱區(qū)：330mm+330mm+330mm（12" per zone）

工作溫度

工作溫度：1100℃。

加熱速率：10℃/min。

加熱元件：Sic棒（36根）

溫控系統(tǒng)

控溫精度為：±0.5℃

爐管

15英寸高純石英爐管：尺寸：400mm O.D×388mm I.D×1860mm L。

注意：石英爐管易碎，操作需謹(jǐn)慎。

真空密封&法蘭

一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?/span>4個(gè)硅膠密封圈，可是爐管真空度達(dá)到10∧-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）。

左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進(jìn)氣口。

右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測(cè)量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）。

可選

此管式爐需定期校準(zhǔn)，以保證溫度的準(zhǔn)確性和均勻性，我們可提供簡(jiǎn)單的校準(zhǔn)工具：

1根1200mm的K型鎧裝熱偶。

1個(gè)Omega溫度校準(zhǔn)儀表。

此型號(hào)管式爐只可選機(jī)械泵，且頂真空度只能夠抽到-0.05MPa，否則可能正常爐管損壞。

4"~8"晶片石英支架。

可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備。

電壓

三相380V，50/60Hz

額定功率

20KW

產(chǎn)品尺寸

2300 L×1500 W×1400 H mm

凈重

300Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質(zhì)量認(rèn)證

CE認(rèn)證。

所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過(guò)了UL/MET/CSA

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