名稱

1100℃三溫區電動開啟式管式爐（管徑8.5、11）OTF-1100X-XX-III

設備型號

OTF-1100X-8.5-III

OTF-1100X-11-III

高純石英管尺寸

216 OD×206 ID×1800mm L

279 OD×269 ID×1800mm L

加熱區

1000mm

電源

AC380,50Hz 三相電 功率：20KW

AC380,50Hz 三相電 功率：20KW

爐體結構

采用雙層殼體結構，并帶有風冷系統，使表面溫度低于70℃

設備中配有2個氧化鋁管堵，設備使用時必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區和密封圈的密封性）

高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命）

該爐可作為退火或擴散爐，可用于8"晶片放在對應石英舟中（圖三）

電動開啟式設計，使得用戶操作更加簡便（圖四）

圖一 圖二 圖三 圖四

基本參數

熱偶：K型熱偶 建議升溫速率：≤10℃/min

溫度：1000℃ （1100℃<1h） 電源：AC220，50HZ 功率：8KW

加熱元件

SiC棒（36根）

爐管

8.5英寸或11英寸高純石英爐管。

注意：石英管易碎，操作需謹慎。

為了獲得更高的工作溫度，可選用FeCrAl合金管，溫度可達1200℃

密封法蘭

一對不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈式），4個硅膠密封圈，可是爐管內真空度達到10∧-3torr（采用機械泵抽真空）。

左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進氣口。

右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內，測量爐管內溫度和進行溫度校準）。

溫控系統

控溫精度：±0.5℃

溫度校準（可選）

定期對管式爐進行溫度校準，可保持溫度的準確性和均勻性。您可以在我公司選購一個簡單的校準工具包，輔助您完成這項工作，完整的校準套件包括

一個1200mm的K型鎧裝熱偶。

48"L（1/4"OD）K型熱電偶校準。

一Omega溫度校準器。

你可以考慮分子泵，真空度可達10-5Torr。

外形尺寸

2210（L）×770(W)×1190(H) mm

凈重

約500Kg

真空系統

多種真空系統可選

可選購一個冷真空阱，以避免真空泵造成污染

可選

可與手套箱系統聯用，實現氧敏感性材料的燒結制備

使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度＜1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。

質量認證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認證，若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

質保

一年保修，終身技術支持。

特別提示：

1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內

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