名稱

GSL-1100X-III-8.5T

爐體結構

采用雙層殼體風冷系統，工作時使得殼體表面溫度<60℃。

采用高純度氧化鋁作為爐膛材料，保溫性能，較大限度減少熱量損失。

通過觸摸屏控制工作溫度，真空度，水冷機組。

在爐子底部安裝有水冷和高真空機組。

采用鉸鏈式水冷法蘭，操作方便簡潔。

石英管尺寸

采用高純度石英管。

尺寸：216 O.D×206 I.D×1300 L mm（8.5" O.D×8.1" I.D×51" L）。

警告：石英管是易碎品，請妥善保管。人為損壞不在保修范圍內。

標準兩塊氧化鋁纖維管堵，用于阻擋管內的熱輻射（加熱爐在工作時必須放入管堵）。

可選石英管堵，提高潔凈度及真空度。

加熱區

總加熱區長度：900mm（36"）。

三個加熱區：330mm+330mm+330mm（12" 每個加熱區）。

恒溫區長度：750mm（三個溫區可設置相同的溫度，誤差為±2℃）。

注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數經供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員聯系。

工作溫度

工作溫度：1150℃。

連續工作：200~1100℃

加熱/冷卻速率：10℃/min。

溫度分布圖

溫度控制

配備一款觸摸屏控制溫度。

三個加熱區分別設置30段升降溫程序。

控溫精度：±1℃。

每個溫區都配備一個K型Omega原裝熱電偶。

真空泵系統

在爐子下配備了一個數字分子泵系統。

真空度可達10-5torr。

真空泵由觸摸屏控制。

真空密封&法蘭

配備一對水冷密封法蘭（鉸鏈法蘭）。

左法蘭配備：真空計和觸摸屏控制的電磁閥（用于控制顱內氣氛環境）。

右法蘭配備：KF40真空接口，用于連接真空泵接口上電磁閥。

法蘭外端配備一個外徑1/4"的熱電偶插口，用于方便進行溫度校準。

爐子底部配備有一個16L/min水冷機，用于水冷法蘭的供水。

可選

可以另配混氣系統用于CVD實驗。

額定電壓

單相 AC 220V，50/60 Hz

包括AWG 8#電源線

功率

12KW（需50A空氣開關）

產品尺寸

1700 L×750 W×1800 H mm

凈重

250Kg

質保期

一年質保期，終生維護（不包含爐管，加熱元件和密封圈）

質量認證

CE認證。

所有電器元件（輸入電源大于24V）都通過了UL/MET/CSA

使用注意事項

爐管內氣壓不可高于0.02MPa。

由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司購買減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。

當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態。爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態。

進入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱的實驗，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等）。

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