技術應用鏈接:
Tetra 30 LF-PC | 內聯設備
·開關柜： W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm
·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm
·容積. 30 litres(可定制)
·氣體供給：通過 MFC 控制的多路氣體通道
·發生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
·控制系統: 配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
·自動化：系統可以集成到生產線中
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
環保在線