Tetra 30 LF-PC | 內(nèi)聯(lián)設備
·開關(guān)柜: W 800 mm, H 600 mm, D 500 mm
·腔室: W 240 mm, H 150 mm, D 240 mm
·容積. 30 litres(可定制)
·氣體供給:通過 MFC 控制的多路氣體通道
·發(fā)生器: 1 pc. 40 kHz (optional: 13.56 MHz or 2.45 GHz)
·控制系統(tǒng): 配有工業(yè)現(xiàn)場總線的 PC-控制系統(tǒng) (Windows)
·自動化:系統(tǒng)可以集成到生產(chǎn)線中