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Tetra 2800 LF-PC | 特殊設備
開關柜：寬 600 mm、高 1700 mm、深 800 mm
腔室：∅ 1200 mm，深 2500 mm
腔室容積：約 2800 升
氣體供給：通過 MFC 控制的 3 個氣體通道
發生器：1 個 (40 kHz)（可選：13.56 MHz 或 2.45 GHz）
控制系統：配有工業現場總線的 PC-控制系統 (Windows)
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
暫無信息 |
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