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等離子清洗機 YSP63FA 實驗室等離子清洗機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

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更新時間:2023-06-09 09:02:30瀏覽次數:302次

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技術應用鏈接:●操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒
技術應用鏈接:

● 操作快捷方便:放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。
● 軟性基板也可以進行傳送操作。
● 傳送速度可在Hi-Low間調節。
● 可通過網絡進行遠程操作(選購品)。

未找到相應參數組,請于后臺屬性模板中添加

型號

YSP63FA

模式

RIE(DP模式選購)

高頻輸功率

600W

反應臺尺寸

W385×D362mm

內腔尺寸

W395×D378×H45mm(內尺寸)

反應氣體

2進氣系統(氧氣、氬氣)

反應氣體流量控制

質量流量控制器

真空泵

旋轉式真空泵(約500L/min)

氣體導入口

反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個

外形尺寸

W1860×D1100×H1800mm

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